---Guia de selecció de la bomba de buit

---Guia de selecció de la bomba de buit

Quan escolliu una bomba de buit, heu de parar atenció als aspectes següents:

1. La pressió de treball de la bomba de buit ha de complir els requisits màxims de buit i pressió de treball de l'equip de buit. Per exemple: el revestiment al buit requereix un grau de buit de 110-5 mmHg i el grau de buit de la bomba de buit seleccionada ha de ser com a mínim de 510-6 mmHg. Normalment, el grau de buit de la bomba es selecciona per ser de la meitat a un ordre de magnitud superior al grau de buit de l'equip de buit.

2. Seleccioneu correctament el punt de treball de la bomba de buit. Cada tipus de bomba té un determinat rang de pressió de treball, com ara 10-3~{10-7mmHg per a una bomba de difusió. Dins d'un rang de pressió tan ampli, la velocitat de bombeig de la bomba canvia amb la pressió i el seu rang de pressió de treball estable és de 510-4 ~510-6 mmHg. Per tant, el punt de treball de la bomba s'ha de seleccionar dins d'aquest rang i no es pot permetre que funcioni per sota de 10-8mmHg durant molt de temps. Un altre exemple és que la bomba de sublimació de titani pot funcionar a 10-2mmHg, però la seva pressió de treball hauria de ser inferior a 110-5mmHg.

3. La bomba de buit ha de ser capaç de descarregar tot el gas generat durant el procés de l'equip de buit sota la seva pressió de treball. 4. Combinar correctament la bomba de buit. Atès que les bombes de buit tenen capacitats de bombeig selectives, de vegades un tipus de bomba no pot complir els requisits de bombeig i s'han de combinar diverses bombes per complementar-se per satisfer els requisits de bombeig. Per exemple, una bomba de sublimació de titani té una alta velocitat de bombeig per a l'hidrogen, però no pot bombar heli, mentre que una bomba d'ions de pulverització tripolar (o una bomba d'ions de catòdica asimètrica de díode) té una certa velocitat de bombeig per a l'argó. Combinat, el dispositiu de buit obtindrà un millor grau de buit. A més, algunes bombes de buit no poden funcionar sota pressió atmosfèrica i requereixen prebuit; algunes bombes de buit tenen pressions de sortida inferiors a la pressió atmosfèrica i requereixen una bomba de suport, de manera que les bombes s'han de combinar.

5. Requisits per a la contaminació per petroli en equips de buit. Si l'equip requereix estrictament sense oli, s'han de seleccionar diverses bombes sense oli, com ara: bombes d'anell d'aigua, bombes d'adsorció de tamís moleculars, bombes d'ions de pulverització, bombes criogèniques, etc. Si els requisits no són estrictes, podeu optar per tenir una bomba d'oli i afegir algunes mesures contra la contaminació per petroli, com ara afegir trampes de fred, deflectors, trampes d'oli, etc., per aconseguir els requisits de buit net.

6. Entendre la composició del gas bombat, si conté vapor condensable, si hi ha partícules de pols, si és corrosiu, etc. En seleccionar una bomba de buit, cal conèixer la composició del gas i seleccionar la bomba corresponent per al gas. per ser bombat. Si el gas conté vapor, partícules i gasos corrosius, hauríeu de considerar la instal·lació d'equips auxiliars, com ara condensadors, col·lectors de pols, etc., a la canonada d'entrada d'aire de la bomba.

7. Quin és l'impacte del vapor d'oli descarregat de la bomba de buit sobre el medi ambient? Si el medi ambient no permet la contaminació, podeu triar una bomba de buit sense oli o descarregar el vapor d'oli a l'exterior.

8. La vibració generada per la bomba de buit durant el funcionament té algun impacte en el procés i el medi ambient? Si el procés no ho permet, s'ha de seleccionar una bomba sense vibracions o prendre mesures antivibracions.

9. El preu, els costos de funcionament i manteniment de les bombes de buit.